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区熔炉
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区熔炉

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产品描述

区熔加热炉采用往复区熔的方式,闭环温度控制,可靠的控制熔区的宽度问题;生长室的设计成功解决生长室的污染问题,将加热及保温材料均设置在生长腔室外部,采用高纯石英作为腔室,同时抽真空;将流动高纯氢气通入腔室,去除腔室中的微量氧,解决氧化的问题;开发高柔性的控制软件,采用触摸屏进行操作,任意设置区熔的温度,区熔的速度及次数。对于高纯气路柜内部和石英管的密封部位增加燃气报警器,通过设备的电气控制实现互锁,一旦有泄漏,自动关闭加热炉及进气通道,改冲高纯氮气,同时大抽速真空系统立即启动,抽走危险气体,具有超压自动切断进气并声光报警。

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